Цель работы – изучение принципа действия сканирующего атомно-силового микроскопа и разработка методики калибровки. Результат дипломной работы – методика калибровки сканирующего атомно-силового микроскопа NT-206. Рассмотрены принцип действия атомно-силового микроскопа, включая контактный метод, бесконтактный и метод прерывистого контакта. Изучены составляющие погрешности и определены параметры микроскопа, контролируемые при калибровке. Разработана методика калибровки, в которой приведен бюджет неопределенности контролируемых параметров атомно-силового микроскопа. Разработаны безопасные и здоровые условия труда на рабочих местах в лаборатории. СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОП, КАНТИЛЕВЕР, ЗОНД, МЕРА, КАЛИБРОВКА, ПОГРЕШНОСТЬ, НЕОПРЕДЕЛЕННОСТЬ. Об’єкт дослідження – скануючий атомно-силовий мікроскоп. Мета роботи – вивчення принципу дії скануючого атомно-силового мікроскопа і розробка методики калібрування. Результат дипломної роботи - методика калібровки скануючого атомно-силового мікроскопа NT-206. Розглянуто принцип дії атомно-силового мікроскопа, а також контактний метод, безконтактний і метод переривчастого контакту. Вивчено складові похибки та визначені параметри мікроскопа, контрольовані при и калібруванні. Розроблена методика калібрування, в якій оцінений бюджет невизначеності контрольованих параметрів атомно-силового мікроскопа. Розроблені безпечні і здорові умови праці на робочих місцях лабораторії. СКАНУЮЧА ЗОНДОВА МІКРОСКОПІЯ, АТОМНО-СИЛОВИЙ МІКРОСКОП, КАНТИЛЕВЕР, ЗОНД, МІРА, КАЛІБРУВАННЯ, ПОХИБКА, НЕВИЗНАЧЕНІСТЬ. Research object - a scanning atomic-force microscope. Purposes of work - to study the operating principle of a scanning atomic-force microscope and the development of methods of calibration. The result of the diploma project - technique for calibrating a scanning atomic force microscope NT-206. Studied the principle of action of an atomic-force microscope, and the contact method, and non-contact method of intermittent contact. Examined the components of error and control parameters determined during calibration of the microscope. Developed the technique of calibration, in which the estimated uncertainty budget control parameters of an atomic force microscope. Developed a safe and healthy workplace in a laboratory. SCANNING PROBE MICROSCOPY, ATOMIC-FORCE MICROSCOPE, THE CANTILEVER, THE PROBE, MEASURE, CALIBRATION, ERROR, UNCERTAINTY.
