електричний опір, электрическое сопротивление ; мікроелектромеханічні системи, МЕМС, микроэлектромеханические системы, МЭМС ; резистивні параметри, резистивные параметры ; спеціалізовані комп'ютерні системи, специализированные компьютерные системы

В дисертації розроблено наступні методи: автоматичного визначення величини електричного опору резистивних параметрів мікроелектромеханічних систем (МЕМС); автоматичного визначення наближеного значення величини електричного опору резистивних параметрів МЕМС; а також метод автоматичного визначення діапазону значень величини електричного опору резистивних параметрів МЕМС, що грунтується на розробленому алгоритмі та розробленій схемній моделі, і дає змогу здійснити вибір границь діапазону значень величини електричного опору в автоматичному режимі. Також впроваджено мікроконтролер автоматичного контролю величини електричного опору резистивних параметрів МЕМС на базі мікроконтролера сімейства Arduino. Означені методи закладені в основу розробленої спеціалізованої комп'ютерної системи автоматичного контролю резистивних параметрів МЕМС, і в сукупності виступають в якості ефективного механізму розв'язання поставленої задачі автоматизації контролю резистивних параметрів мікроелектромеханічних систем.

• УДК // Мікроелектроніка. Інтегральні схеми
• УДК // Моделювання і макетування комп'ютерних систем