-
Ключові слова:
густина струму, плотность тока ; зондоформуючі системи, ЗФС, зондоформирующие системы ; мікрозонди, микрозонды ; магнітні квадрупольні лінзи, магнитные квадрупольные линзы ; мультиплети, мультиплеты
-
Анотація:
В дисертаційній роботі визначено вплив вільних параметрів фокусуючих полів на густину струму в зонді для систем формування прецизійних пучків іонів МеВ-х енергій у ядерному скануючому мікрозонді (ЯСМЗ). Як вільні параметри запропоновані додаткові джерела живлення магнітних квадрупольних лінз і кути конусності апертури. Отримані експериментальні результати підтверджують теоретичні розрахунки, у результаті яких зроблено висновок, що густина струму в зонді для системи квадруплета з індивідуальними джерелами живлення лінз перевищує аналогічну величину для широко поширеної зондоформуючої системи (ЗФС), розподіленого "російського" квадруплета, у три рази. Процес експонування сфокусованим протонним пучком при внесенні фіксованої дози опромінення у разі застосування нової зондоформуючої системи може бути прискорений більше ніж у три рази. Це становить певний прогрес у застосуванні літографічної технології proton beam writing.
-
Теми документа
|