Целью работы является создание внутрикамерных устройств на базе МРУ, ЭЛИ для получения силицидных пленок из смешанных паровых потоков с изменяемой энергией конденсирующихся частиц, изучение закономерностей формирования силицидов и разработка высокопроизводительных технологических процессов нанесения и отжига пленок силицида титана.
