Цель работы- отыскание методов исследования закономерностей жидкостного проявления электроннорезиста во взаимосвязи с процессом экспонирования и изучение с помощью этих методов условий, необходимых для формирования субмикронных структур, отыскание наиболее выгодных технологических параметров этих процессов, сводящих к минимуму возникающие искажения.
