Объект проектирования - трехпараметровый датчик давления-температуры-вибрационного ускорения, выполненный на базе кремниевой интегральной технологии микроэлектроники. Цель проекта - разработка базовой модели кремниевого интегрального преобразователя физических величин для информационных измерительных каналов телекоммуникационных сетей. В процессе выполнения дипломного проекта произведен расчет функции преобразования мостовой электрической измерительной схемы для разрабатываемого трехпараметрового датчика; рассчитана мембрана чувствительного элемента мембранно-балочного типа датчика давления; вычислен диапазон измерений преобразователя вибрационных ускорений; разработана конструкция трехпараметрового датчика. Также проведена оценка безопасности жизнедеятельности человека при разработке и изготовлении кремниевого датчика и выполнен экономический анализ разрабатываемого изделия. КРЕМНИЕВЫЙ ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ, ДАВЛЕНИЕ, ТЕМПЕРАТУРА, ВИБРАЦИОННОЕ УСКОРЕНИЕ, МНОГОПАРАМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК, СЕНСОРНАЯ СЕТЬ, УПРУГИЙ ЭЛЕМЕНТ Об'єкт проектування - трьохпараметровий датчик тиску-температури-вібраційного прискорення, виконаний на базі кремнієвої інтегральної технології мікроелектроніки. Мета проекту - розробка базової моделі кремнієвого інтегрального перетворювача фізичних величин для інформаційних вимірювальних каналів телекомунікаційних мереж. В процесі виконання дипломного проекту проведений розрахунок функції перетворення мостової електричної вимірювальної схеми для трьохпараметрового датчика, що розробляється; розрахована мембрана чутливого елементу мембранно-балочного типу датчика тиску; обчислений діапазон вимірювань перетворювача вібраційних прискорень; розроблена конструкція трьохпараметрового датчика. Також проведена оцінка безпеки життєдіяльності людини при розробці і виготовленні кремнієвого датчика та виконаний економічний аналіз виробу, що розробляється. КРЕМНІЄВИЙ ІНТЕГРАЛЬНИЙ ПЕРЕТВОРЮВАЧ, ТИСК, ТЕМПЕРАТУРА, ВІБРАЦІЙНЕ ПРИСКОРЕННЯ, БАГАТОПАРАМЕТРИЧНИЙ ДАТЧИК, СЕНСОРНА МЕРЕЖА, ПРУЖНИЙ ЕЛЕМЕНТ
