Об'єкт дослідження - фундаментальні залежності в СММ. Предмет дослідження - рішення зворотньої задачі в СММ Мета дослідження - аналіз оптимальних чисельних методів обробки електрофізичних параметрів отриманих при скануванні напівпровідникових матеріалів та зразків для вирішення зворотньої задачі в СММ. Метод дослідження - теоретичний аналіз і чисельний розрахунок, проведення апроксимації поліномами. У роботі проведено огляд методів скануючої зондової мікроскопії. Більш детально розглянуто принципи обробки експериментальних даних, що утворюються на виході мікрохвильових скануючих зондових мікроскопів. Проведено дослідження методів апроксимації експериментальних даних для просторових залежностей електродинамічних параметрів напівпровідникових матеріалів, отриманих за допомогою резонаторних вимірювальних перетворювачів (РВП) різної конфігурації. Досліджено застосування поліноміальної апроксимації різних ступенів для наближення двовимірних експериментальних функцій. Показано, що такі поліноми можуть бути використані для розв'язання зворотних задач в СММ. СКАНУЮЧА МІКРОХВИЛЬОВА МІКРОСКОПІЯ, ВИМІРЮВАЛЬНИЙ ПЕРЕТВОРЮВАЧ, АПРОКСИМАЦІЯ ФУНКЦІЙ, ПОЛІНОМ. Объект исследования - фундаментальные зависимости в СММ. Предмет исследования - решение обратной задачи в СММ Цель исследования - анализ оптимальных численных методов обработки електрофизических параметров полученных при сканировании полупроводниковых материалов и образцов для решения обратной задачи. Метод исследования - теоретический анализ и численный расчет, проведение аппроксимации полиномами. В работе проведен обзор методов сканирующей зондовой микроскопии. Более подробно рассмотрены принципы обработки экспериментальных данных, образующихся на выходе микроволновых сканирующих зондовых микроскопов. Проведено исследование методов аппроксимации экспериментальных данных для пространственных зависимостей электродинамических параметров полупроводниковых материалов, полученных с помощью резонаторных измерительных преобразователей ( РИП ) различной конфигурации. Исследованы применения полиномиальной аппроксимации различных степеней для приближения двумерных экспериментальных функций. Показано, что такие полиномы могут быть использованы для решения обратных задач в СММ . СКАНИРУЮЩАЯ МИКРОВОЛНОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ , АППРОКСИМАЦИЯ ФУНКЦИЙ , ПОЛИНОМ . Object of research - depending fundamentalnyn SMM. Subject of research - the inverse problem in the SMM. The purpose of research - analysis of numerical methods for optimal processing of electrophysical parameters obtained by scanning of semiconductor materials and samples for solving the inverse problem. Method of research - theoretical analysis and numerical calculation, holding approximation polynomials. In the work a review of scanning probe microscopy methods. Discussed in more detail the principles of experimental data generated at the output of microwave scanning probe microscopes. A study of methods for approximation of experimental data for the spatial dependency of the electrodynamic parameters of semiconductor materials obtained using resonator transducers of various configurations . Investigated the use of various degrees of polynomial approximation for the two-dimensional approximation of the experimental features. It is shown that such polynomials can be used for solving inverse problems in SMM . MICROWAVE SCANNING MICROSCOPY, THE MEASURING TRANSDUCER, APPROXIMATION OF FUNCTIONS , POLYNOMIAL.

• Дипломні роботи студентів ХНУРЕ // Дипломні роботи кафедри Мікроелектроніки, електронних приладів та пристроїв (МЕПП)
• Дипломні роботи студентів ХНУРЕ // Магістерські атестаційні роботи кафедри МЕПП