Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Киршина, И. А.
    Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов [Текст] / И.А. Киршина, П.А. Окин, О.М. Филонов // Известия высших учебных заведений. Радиоэлектроника : научно-технический журнал. — К., 2014. — №11. — С. 51-56.


- Ключові слова:

коливальні системи, колебательные системы ; мікрорезонатори, микрорезонаторы ; резонатори, резонаторы, resonators

- Анотація:

Проведен сравнительный анализ топологических решений на этапе проектирования микроэлектромеханических резонаторов. Изучена зависимость чувствительности колебательной системы от ее ориентации по отношению к базовым кристаллографическим осям. Разработаны рекомендации по выбору топологии планарной конструкции в зависимости от характера решаемых изделием задач.

- Є складовою частиною документів:

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
  • УДК // Ізотропія та анізотропія молекулярних структур. Упорядковані - неупорядковані структури. Текстури молекулярних систем та матеріалів ( особливо синтетичних )



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки   Перейти на сайт