| | Киршина, И. А. Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов [Текст] / И.А. Киршина, П.А. Окин, О.М. Филонов // Известия высших учебных заведений. Радиоэлектроника : научно-технический журнал. — К., 2014. — №11. — С. 51-56. |
| | |
|