Об'єкт дослідження - високолокальний НВЧ розігрів Предмет дослідження - врахування впливу режиму живлення НВЧ мікромодіфікатора і зазору між вістрям мікрозонду і об'єктом що нагрівається на кінетику розігріву, рівень температури і локальність. Мета роботи - оптимізація режиму живлення НВЧ мікромодифікатора. Метод досліджень - моделювання НВЧ розігріву об'єкта з урахуванням впливу зазору між вістрям зонда і об'єктом та режиму живлення НВЧ мікромодіфікатора. У даній роботі описані принципи здійснення високолокального НВЧ розігріву матеріалів мікроелектроніки з метою їх модифікації (локальне перелегування, термічне окиснення, рекристалізація та відпалювання різноманітних матеріалів) заради подальшого застосування в мікроелектроніці. Відображені залежності просторово-часового розподілу температури в об'єкті під ближньопольовим НВЧ високолокальним зондом. Також досліджено вплив зазору між вістрям зонда і об'єктом що нагрівається на кінетику високолокального ближньопольового НВЧ розігріву. Підібрані параметри матеріалу що нагрівається і режиму НВЧ живлення. Проведена оптимізація режиму живлення мікромодіфікатора. Отриманні результати свідчать про перспективність розвитку даного напрямку в галузі виробництва радіоелектронних компонентів та елементів. ЕЛЕКТРОМАГНІТНИЙ, ВИПРОМІНЮВАННЯ, ІМПУЛЬС, ТЕМПЕРАТУРА, ЗАЛЕЖНІСТЬ, ЛОКАЛЬНІСТЬ, МОДЕЛЮВАННЯ, ЗАЗОР, ЖИВЛЕННЯ, ШПАРУВАТІСТЬ. Объект исследования - высоколокальный СВЧ разогрев Предмет исследования - учет влияния режима питания СВЧ микромодификатора и зазора между острием микрозонда и нагреваемым объектом на кинетику разогрева, уровень температуры и локальность. Цель работы - оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора. Метод исследований - моделирование СВЧ разогрева объекта с учетом влияния зазора между острием зонда и объектом и режима питания СВЧ микромодификатора В данной работе описаны принципы осуществления высоколокального СВЧ нагрева материалов микроэлектроники с целью их модификации (локальное перелегирование, термическое окисление, рекристаллизация и отжиг различных материалов) для дальнейшего применения в микроэлектронике. Изображены зависимости пространственно-временного распределения температуры в объекте под ближнеполевым СВЧ высоколокальным зондом. Также исследовано влияние зазора между острием зонда и разогреваемым объектом на кинетику высоколокального ближнеполевого СВЧ разогрева. Подобраны параметры разогреваемого материала и режима СВЧ питания. Проведена оптимизация режима питания микромодификатора. Полученные результаты свидетельствуют о перспективности развития данного направления в области производства радиоэлектронных компонентов и элементов. ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЙ, ИЗЛУЧЕНИЕ, ИМПУЛЬС, ТЕМПЕРАТУРА, ЗАВИСИМОСТЬ, ЛОКАЛЬНОСТЬ, МОДЕЛИРОВАНИЕ, ЗАЗОР, ПИТАНИЕ, СКВАЖНОСТЬ. Object of research - highly localized microwave heating. Subject of research - accounting of the impact of microwave micro modificator power mode and gap between the edge of the microprobe and the object to be heated on the kinetics of the heating, the temperature level and locality. Purpose of work - microwave micro modificator power mode optimization. The method of research - modeling of microwave heating of the object taking into account the impact of the gap between the tip of the probe and the object and the microwave micro modificator power mode. This paper describes the implementation principles of highly localized microwave heating of materials in microelectronics for the purpose of modification (local doping, thermal oxidation, recrystallization and annealing of various materials) for further application in microelectronics. The dependences of the space-time temperature distribution in the object that is situated under near-field microwave highly localized probe are shown. The effect of the gap between the tip of the probe and the object to be heated on the kinetics of the highly localized near-field microwave heating was researched. Parameters of the material to be heated and the microwave power mode parameters are selected. The micro modificator power mode optimization was performed. Obtained results indicate the prospects of development of this area in the field of electronic components and elements manufacturing. ELECTROMAGNETIC, RADIATION, PULSE, TEMPERATURE, DEPENDANCE, LOCALITY, MODELING, GAP, POWER, DUTY FACTOR.

• Дипломні роботи студентів ХНУРЕ // Дипломні роботи кафедри Мікроелектроніки, електронних приладів та пристроїв (МЕПП)
• Дипломні роботи студентів ХНУРЕ // Магістерські атестаційні роботи кафедри МЕПП