Мета роботи - дослідження впливу конфігурації магнітного поля на технологічні режими, зокрема ВАХ . Об'єкт дослідження - магнетронний розряд. Метод дослідження - моделювання магнітних полів МРС за допомогою програми "ELCUT" та спектральне вимірювання випромінювання плазми розряду, дослідження ВАХ. У дипломній роботі були розглянуті різні конфігурації МРС, досліджено розподілення магнітного поля для кожного варіанта, проведені вимірювання ВАХ та спектри випромінювання плазми, зроблений аналіз отриманих результатів. МАГНЕТРОН, МРС, МАГНІТНЕ ПОЛЕ, КАТОД, АНОД, ВАХ, СПЕКТРОМЕТРІЯ ПЛАЗМИ Цель работы - исследование влияния кнфигурации магнитного поля на технологические режимы, в особенности ВАХ. Объект исследования - магнетронный разряд. Метод исследования - моделирование магнитнитных полей МРС с помощью программы "ELCUT" и спектральное измерение плазма разряда, исследование ВАХ. В дипломной работе рассмотрены различные конфигурации МРС, исследовано распределение магнитного поля для каждого варианта, проведены измерения ВАХ и спектров измерения плазмы, сделан анализ полученных результатов. МАГНЕТРОН, МРС, МАГНИТНОЕ ПОЛЕ, КАТОД, АНОД, ВАХ, СПЕКТРОМЕТРИЯ ПЛАЗМЫ
