Об'єкт дослідження - електростатичний двигун. Мета роботи - розробка конструкції і технології виготовлення електростатичного двигуна. Розробка проводилася на персональному комп'ютері (тактова частота процесора 2,3 ГГц, об'єм оперативної пам'яті - 3 Гб, жорсткого диска - 320 Гб). Можливими галузями застосування результатів даної роботи є: аерокосмічна, військова, де важливі, насамперед, габаритно-масові характеристики. В роботі доведено, що зі зменшенням розмірів компонентів підвищується швидкість та чутливість датчиків, тобто електростатичні двигуни стають ефективнішими ніж електромагнітні. Також знижується енергоспоживання пристроїв, що дозволяє зменшити витрати. МЕМС, ТЕХНОЛОГІЇ МЕМС, КРОКОВИЙ ДВИГУН, ЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНІ АНАЛОГІЇ, ТЕОРІЯ ПОДІБНОСТІ, ТЕОРІЯ РОЗМІРНОСТІ ФІЗИЧНИХ ВЕЛИЧИН, МІКРОСИСТЕМНА ТЕХНІКА Объект исследования - электростатический двигатель. Цель работы - разработка конструкции и технологии производства електростатического двигателя. Разработка проводилась на персональном компьютере (тактовая частота процессора 2,3 ГГц, объем оперативной памяти - 3 Гб, жесткого диска - 320 Гб). Возможными областями применения результатов данной работы являются: аэрокосмическая, военная, где важны, прежде всего, габаритно-массовые характеристики. В работе доказано, что с уменьшением размеров компонентов повышается скорость и чувствительность датчиков, то есть электростатические двигатели становятся более эффективными чем электромагнитные. Также снижается энергопотребление устройств, что позволяет уменьшить расходы. МЭМС, ТЕХНОЛОГИИ МЭМС, ШАГОВЫЙ ДВИГАТЕЛЬ, ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ АНАЛОГИИ, ТЕОРИЯ ПОДОБИЯ, ТЕОРИЯ РАЗМЕРНОСТИ ФИЗИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН, МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА The object of study - electrostatic motor. Purpose - to consider an electrostatic motor manufacturing technology, develop its structure. The development was carried out on a personal computer (CPU clock speed of 2.3 GHz, RAM - 3 GB hard drive - 320 GB). Possible applications of the results of this work are: aerospace, military, where it is important, first of all, dimensions and weight specifications. It is proved that with decreasing size of components increases the speed and sensitivity of the sensor, that is, electrostatic motors are more efficient than electromagnetic. It also reduces the power consumption of devices that can reduce costs. MEMS, MEMS TECHNOLOGY, STEPPER MOTORS, ELECTROMECHANICAL ANALOGIES, THE SIMILARITY THEORY, THE THEORY OF PHYSICAL DIMENSIONS, MICROSYSTEM TECHNOLOGY
