Актуальностью исследования является необходимость усовершенствования эффективности измерения влажности и температуры в различных отраслях производства. Объектом исследований являются измерители влажности и температуры.. Предметом исследований являются МЭМС датчики измерения влажности. Цель исследования является моделирование и обоснование МЭМС измерителей влажности. . В работе выполнен анализ современных МЭМС измерителей влажности. Произведено исследование применения различных структур влагочувствительного элемента емкостного датчика влажности. Разработана модель экспериментального образца. Проведены экспериментальные исследования. Рассмотрены вопросы обеспечения охраны труда и безопасности в чрезвычайных ситуациях. МЭМС, ДАТЧИК, ВЛАГОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ, ТЕХНОЛОГИИ, ТАБЛИЦА Актуальністю дослідження є необхідність удосконалення ефективності вимірювання вологості і температури в різних галузях виробництва. Об'єктом досліджень є вимірювачі вологості і температури. Предметом досліджень є МЕМС датчики вимірювання вологості. Мета дослідження є моделювання і обґрунтування МЕМС вимірювачів вологості. . В роботі виконаний аналіз сучасних МЕМС вимірювачів вологості. Проведено дослідження застосування різних структур вологочуттэвого елемента ємнісного датчика вологості. Розроблена модель експериментального зразка. Проведені експериментальні дослідження. Розглянуто питання забезпечення охорони праці та безпеки в надзвичайних ситуаціях. МЕМС, ДАТЧИК, ВОЛОГОЧУТТЭВИЙ ЕЛЕМЕНТ, ТЕХНОЛОГІЇ, ТАБЛИЦЯ The relevance of the study is the need to improve the efficiency of measurement of humidity and temperature in various industries. The object of research is to measure the humidity and temperature.. The subjects of the research are MEMS sensors measure humidity. The purpose of the study is to model and rationale MEMS moisture meters. . The paper presents an analysis of the current MEMS moisture meters. Investigated the use of different structures moisture-sensitive element of a capacitive humidity sensor. The developed model of the experimental sample. The experimental investigations. The problems of ensuring the safety and security in emergency situations. A MEMS SENSOR, A MOISTURE-SENSITIVE ELEMENT, TECHNOLOGY, TABLE
