В данной работе исследованы технологические производственные процессы микроэлектромеханических систем, представлен анализ конструкций МЭМС и определены перспективные направления развития МЭМС. Рассчитаны электромеханические параметры микроактюатора гребенчатого типа. Его параметры: максимальная сила - 885 мкН, максимальное смещение - 0,2 мм, емкость между обкладками - 13,23 пФ. Гребенчатый микроактюатор изготовлен по технологии MUMPs (многопользовательская МЭМС технология). Объект исследования - МЭМС технологии и МЭМС-устройства, в часности микроактюаторы. Микроэлектромеханические системы определены как одна из наиболее перспективных технологий 21-го века и является революционным направлением как в промышленности так и для товаров народного потребления. МЭМС объединяют микроэлектронные технологии, основанные на кремниевых процессах, с микромеханикой. Микросистемная техника имеет потенциал для кардинального изменения всей нашей дальнейшей жизни. МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА, МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИКА, МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ, МИКРОТЕХНОЛОГИИ, ПОЛИКРЕМНИЙ, МИКРОДАТЧИКИ, ГРЕБЕНЧАТЫЕ МИКРОАКТЮАТОРЫ. У даній роботі досліджені технологічні виробничі процеси мікроелектромеханічних систем, представлений аналіз конструкцій МЕМС і визначені перспективні напрямки розвитку МЕМС. Розраховано електромеханічні параметри мікроактюаторів гребенчатого типу. Його параметри: максимальна сила - 885 мкН, максимальний зсув - 0,2 мм, ємність між обкладками - 13,23 пФ. Гребенчатий мікроактюатор виготовлений за технологією MUMPs (багатокористувачська МЕМС технологія). Об'єкт дослідження - МЕМС технології й МЕМС-пристрої, у часності мікроактюатори. Мікроелектромеханічні системи визначені як одна з найбільш перспективних технологій 21-го століття і є революційним напрямком як у промисловості так і для товарів народного споживання. МЕМС поєднують мікроелектронні технології, засновані на кремнієвих процесах, з мікромеханікою. Мікросистемна техніка має потенціал для кардинальної зміни всього нашого подальшого життя. МІКРОСИСТЕМНА ТЕХНІКА, МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІКА, МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНІ СИСТЕМИ, МІКРОТЕХНОЛОГІЇ, ПОЛІКРЕМНІЙ, МІКРОДАТЧИКИ, ГРЕБЕНЧАТІ МІКРОАКТЮАТОРИ.
