Об'єкт дослідження - волоконний інтерферометр для вимірювання малих відстаней. Мета роботи - вимірювання малих відстаней за допомогою волоконно-оптичного інтерферометра на основі метода спектральної інтерферометрії. Метод дослідження - теоретичний і експериментальний. У даній роботі проведено теоретичні та експериментальні дослідження методу спектральної інтерферометрії при вимірюванні мікро- і нановідстаней. Показано, які джерела оптичного випромінювання можна використовувати для вимірювання малих відстаней і які обмеження накладаються на точність вимірювань. ВОЛОКОННИЙ ІНТЕРФЕРОМЕТР, ШИРОКОСМУГОВІ ДЖЕРЕЛА ОПТИЧНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ, МЕТОД СПЕКТРАЛЬНОЇ ІНТЕРФЕРОМЕТРІЇ, СВІТЛОДІОД, ФУРЬЕ-ПЕРЕТВОРЕННЯ. Объект исследования - волоконный интерферометр для измерения малых расстояний. Цель работы - измерение малых расстояний с помощью волоконно-оптического интерферометра на основе метода спектральной интерферометрии. Метод исследования - теоретический и экспериментальный. В данной работе проведены теоретические и экспериментальные исследования метода спектральной интерферометрии при измерении микро- и нанорасстояний. Показано, какие источники оптического излучения можно использовать для измерения малых расстояний, и какие ограничения накладываются на точность измерений. ВОЛОКОННИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР, ШИРОКОПОЛОСНЫЕ ИСТОЧНИКИ ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, МЕТОД СПЕКТРАЛЬНОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ, СВЕТОДИОД, ФУРЬЕ-ПРЕОБРАЗОВАНИЕ. The object of study - optic interferometer for measuring short distances. Objective of study - measurement of short distances using fiber optic interferometer on the basis of spectral interferometry. The method of research - theoretical and experimental. In this paper, theoretical and experimental study of the spectral interferometry method in measuring micro- and nano-distances has been carried out. It has been shown what types of sources of optical radiation can be used to measure small distances, and what restrictions are imposed on the accuracy of measurements. FIBER INTERFEROMETER, BROADBAND OPTICAL RADIATION SOURCE, METHODS OF SPECTRAL INTERFEROMETRY, LIGHT-EMMITING DIODE, FOURIER-TRANSFORM
