наноструктури, наноструктуры, nanostructures ; оксид цинку, оксид цинка ; схеми сенсорів, схемы сенсоров ; технологія низькотемперетурного синтезу, технология низкотемпературного синтеза ; ультрафіолетове випромінювання, УФ, ультрафиолетовое излучение, ultraviolet rays

Проведено аналіз чутливості сенсорів на об'ємних акустичних хвилях (ОАХ) та поверхневих акустичних хвилях (ПАХ) з наноструктурованим шаром різноманітної морфології та підтверджено значне покращення чутливості сенсорів до масового навантаження як результат використання наноструктурованого шару за рахунок збільшення площі поверхні чутливого елемента. Встановлено закономірності між параметрами синтезу та структурними властивостями ZnO у формі нанострижнів на підкладках різних типів, що дозволило удосконалити технологію синтезу, досягнути стабільності та повторюваності результатів низькотемпературного синтезу наноструктурованого ZnO у поєднанні з класичними мікроелектронними технологіями для виготовлення пристроїв електроніки. За допомогою методу вимірювання за зсувом частоти резонатора досягнуто більший у порівнянні з існуючими аналогами зсув частоти (138±1,9 кГц) при меншій інтенсивності випромінювання з довжиною хвилі 365±3 нм. Запропоновано метод зменшення до 45 с часу відновлення сенсора на основі наноструктурованого ZnO та ZnO:Al шляхом обробки плазмою газового розряду поверхні сенсора.

• УДК // Кристалізація з розчинів
• УДК // Перетворювачі. Датчики
• УДК // Хімічним шляхом. Окислення