Об'єкт дослідження - вакуумний мікроелектронний датчик Мета роботи - розробка вакуумного мікроелектронного датчика Метод розрахунку - розрахунково-аналітичний за допомогою відомих співвідношень для тунельного струму і конкретних розмірів вакуумної камери датчика. Проведено огляд сучасних технологій виконання вакуумного мікроелектронного датчика, на основі одного з них розроблена конструкція вакуумного датчика тиску, отриманні емпиричні формули для розрахунку робочої характеристики. АВТОЕЛЕКТРОННА ЕМІСІЯ, ДАТЧИК ТИСКУ, ВАКУУМНА МІКРОЕЛЕКТРОНІКА, ТУННЕЛЬНИЙ ЕФФЕКТ, АВТОЕМІСІЙНИЙ КАТОД, ДАТЧИК, ЧУТЛИВИЙ ЕЛЕМЕНТ. РЕФЕРАТ Объект исследования - вакуумный микроэлектронный датчик Цель работы - разработка вакуумного микроэлектронного датчика Метод расчета - расчетно-аналитический с помощью известных соотношений для туннельного тока и конкретных размеров вакуумной камеры датчика. Проведен обзор современных технологий исполнения вакуумного микроэлектронного датчика, на основе одного из них разработана конструкция вакуумного датчика давления, полученные эмпиричные формулы для расчета рабочей характеристики. АВТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ, ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, ВАКУУМНАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА, ТУННЕЛЬНЫЙЭФФЕКТ, АВТОЭМИССИОННЫЙ КАТОД, ДАТЧИК, ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ.
