вуглецеві нанотрубки, ВНТ, углеродные нанотрубки, УНТ ; діелектрики, диэлектрики ; електроніка, электроника, electronics, Elektronik ; електронна мікроскопія, электронная микроскопия ; кремнієві структури, кремниевые структуры ; надпровідники, сверхпроводники ; наноелектромеханічні системи, НЕМС, наноэлектромеханические системы, НЭМС ; наноструктури, наноструктуры, nanostructures ; нанотехнології, НТ, нанотехнологии, nanotechnology ; плівкові структури, пленочные структуры ; резонансно-тунельні гетероструктури, резонансно-туннельные гетероструктуры ; рентгенівське випромінювання, рентгеновские лучи, X-rays

Настоящее издание - второй выпуск книги «Нанотехнологии в электронике», вышедшей несколько лет назад. Каждую из частей книги представляет группа авторов, активно развивающих данное направление в Национальном исследовательском университете «МИЭТ». Коллектив авторов старался осуществить частичную преемственность материала, содержащегося в первом выпуске, однако структура книги существенно изменилась: группировка статей по условным разделам (теоретико-экспериментальные работы, методы исследований, технологии, приборы и устройства) представляется более правильной с точки зрения понимания общего направления работ в МИЭТ. Каждая из работ представляет собой законченный научный труд обзорного или обобщающего характера, либо является частью оригинальных исследований, полученных в последние 3-5 лет. Книга представляет интерес для специалистов, аспирантов и студентов, работающих в области нанотехнологий и смежных областях.

• УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
• УДК // Нанотехнологія