контактуючі пристрої, контактирующие устройства ; мікробалки, микробалки ; мікроелектромеханічні системи, МЕМС, микроэлектромеханические системы, МЭМС ; метод рекурентних рішень, метод рекуррентных решений ; метод статистичних рішень, метод статистических решений ; методологія проектування, методология проектирования ; сенсори, сенсоры

Практичне застосування методу конвергенції в процесі розробки компонентів мікроелектромеханічних систем (МЕМС) знайшло під час створення низки засобів контактування на операціях електричного контролю МЕМС, багатошарових структур, компонентів з матричними кульковими виводами. Розроблені багатозондові підмикальні пристрої забезпечують: зонди у вигляді кулькових виводів, розташованих на гнучкому носії; високу щільність розташування зондів на площині; створення однакового тиску зондів на контактні майданчики плат за рахунок його здійснення стисненим повітрям; можливість перевірки контакту будь-якого зонду до контактної площинки. В цілому в ході контролю усуваються похибки першого та другого роду (пропуск браку та забракування придатних).Технологічні процеси виготовлення багатозондових пристроїв базуються на технологіях виготовлення гнучких шлейфів, створення тиску через повітряну подушку та виготовлення кулькових виводів. Проведений аналіз визначив широкий спектр застосування мікросистемної техніки (МСТ) виробів для отримання сенсорів, актюаторів, інформаційно-керуючих систем, мікророботів.

• УДК // Конструювання електричного кола