інформаційні технології, ІТ, информационные технологии, ИТ, information technologies ; домішки, примеси ; монокристалічний кремній, монокристаллический кремний

Удосконалено модель осьового розподілу легуючої домішки в злитку кремнію, розроблена структура багатоагентної системи віртуального моніторингу осьового розподілу легуючої домішки в процесі росту злитка, удосконалено метод визначення осьової нерівномірності розподілу легуючої домішки в злитку кремнію, розроблено алгоритм моніторингу розподілу легуючої домішки в злитку кремнію, розроблено алгоритм моніторингу розподілу легуючої домішки в злитках кремнію, який забезпечує спільну роботу й координацію всіх агентів, що входять в запропоновану багатоагентну систему, удосконалено метод віртуального контролю температури в підкристальній області, заснований на регресійній моделі. Розроблено програмне забезпечення для вирішення завдання інформаційної підтримки моніторингу осьової нерівномірності розподілу легуючої домішки в процесі росту злитка кремнію та розроблено інформаційну технологію моніторингу розподілу домішки в злитках кремнію в процесі їх росту.

• УДК // Алгоритм виразу оцінок
• УДК // Теорія прийняття рішень