|
Автор: Гордиенко Ю.Е., Пятайкина М.И., Ларкин С.Ю., Полищук А.В., Проказа А.М., Слипченко Н.И.
-
Ключові слова:
апертура ; коаксіальні хвилеводи, коаксиальные волноводы ; мікрохвильове випромінювання, микроволновое излучение ; модифікація, модификация ; напівпровідникові структури, НПС, полупроводниковые структуры, ППС ; температура, температура ; тонкоплівкові структури, тонкопленочные структуры ; чисельне моделювання, численное моделирование
-
Анотація:
Исследуются особенности применения микроволнового излучения как средства высоколокального нагрева, отжига и перелегирования полупроводниковых слоистых структур при помощи ближнеполевых СВЧ излучателей с микроразмерной апертурой. Предлагается вариант такого модификатора на основе конусного коаксиального волновода. Основное внимание уделяется локализации тепловыделения и сппецифике пространственно-временного распределения температуры в зависимости от электрических и тепловых параметров объектов исследования. Показывается, что при определенном соотношении параметров пленки и подложки возможно также осуществить геттерирование дефектов из подложки.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Праці співробітників ХНУРЕ // Гордієнко Юрій Омелянович, Гордиенко Юрий Емельянович
-
УДК // Нагріавння випромінюванням
-
Праці співробітників ХНУРЕ // Поліщук Олександр Вікторович, Полищук Александр Викторович, Polishchyk O. V.
-
Праці співробітників ХНУРЕ // Проказа Олександр Михайлович, Проказа Александр Михайлович
-
Праці співробітників ХНУРЕ // Сліпченко Микола Іванович, Слипченко Микола Иванович, Slipchenko M. I.
|
