Сичинский, Э. В.     Особенности глубокого травления кремния через диэлектрическую маску в реакторе трансформаторно-связанной плазмы [Текст] / Э.В. Сичинский // Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. — М., 2003. — №1.