|
-
Ключові слова:
вимірювальна техніка, измерительная техника, Messtechnik, measurement technique ; вимірювальні перетворювачі, ВП, измерительные преобразователи, ИП ; вимірювання, измерения, la mesure, measurements
-
Анотація:
Приведены результаты исследований эффекта накопления фотогенерированного заряда в пленках поликристаллического кремния после импульсной фотонной обработки МДПДП- структур с многослойным диэлектриком, полученные с помощью измерения вольт-фарадных характеристик. Показано, что емкость МДПДП - структур изменяется после обработки.
-
Є складовою частиною документа:
|
