|
Автор: Харченко В.Н., Полуэктов Н.П., Царьгородцев Ю.П., Усатов И.Г., Камышов И.А.
-
Ключові слова:
техніка НВЧ, техника СВЧ, Hochstfrequenztechnik ; мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics
-
Анотація:
Проведены исследования ионизации распыленных атомов алюминия в плазме СВЧ-ЭЦП разряда, используемого для металлизации субмикронных структур изделий микроэлектроники. Зондовыми и спектральными методами изучены пространственные распределения параметров плазмы и их изменения под воздействием атомов металла
-
Є складовою частиною документа:
| 