|
-
Ключові слова:
методи хімічного аналізу, методы химического анализа ; мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics ; методи досліджень, методы исследований, metody badan, research methods
-
Анотація:
Измерен потенциал поверхности кремниевых стандартных пластин, подвергнутых термообработке в широком диапазоне температур (от 50 до 900 град.С), методом статического конденсатора с ионизированным воздушным промежутком. Параллельно изучена термодесорбция воды с поверхности пластин с помощью масс спектрометра. Показано, что рост потенциала поверхности в диапазоне 200-550 град,С связан с разрушением гидратно-гидроксильного покрова. Отмечена корреляция изменения потенциала и прочности сращивания кремниевых пластин
-
Є складовою частиною документа:
|
