|
-
Ключові слова:
мікроскопічна теорія, микроскопическая теория ; спектроскопія, спектроскопия, spectroscopy, Spektroskopie, spectroscopie ; плазма, plasma ; лазерна спектроскопія, лазерная спектроскопия, laser spectroscopy ; низькотемпературна плазма, низкотемпературная плазма ; електронна мікроскопія, электронная микроскопия
-
Анотація:
Рассмотрены технология формирования и свойства сверхтонких пленок карбида вольфрама в качестве проводящих покрытий для кремниевых кантилеверов сканирующих зондовых микроскопов
-
Є складовою частиною документа:
|
