математичні моделі, математические модели, mathematical models ; моделювання, моделирование, modeling, simulation ; інтегральні схеми, ІС, интегральные схемы, ИС, integrated circuits

Показано применение двухмерного приборно-технологического моделирования для разработки и оптимизации КМОП-технологии с проектными нормами 0,5 мкм. Настройка моделей осуществлялась по экспериментальным образцам, изготовленным по серийной КМОП- технологии с проектными нормами 0,8 мкм. В процессе оптимизации были рассчитаны дозы легирования канала и LDD областей.

• Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2003.
• Известия высших учебных заведений. Электроника [Текст] : научно-технический журнал. — М., 2003. — №4.

• УДК // Конструювання електричного кола