|
-
Ключові слова:
мікроскопічна теорія, микроскопическая теория ; мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics ; електронна мікроскопія, электронная микроскопия
-
Анотація:
Представлены результаты электронно-микроскопических исследований пластин кремния после ионной имплантации и отжига в нейтральной и химически активной водородной среде. Показано, что отжиг в среде водорода при температуре 700 градусов С приводит к улучшению структуры приповерхностной области кремния
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
| 