|
Автор: Бабкин С.И., Киреев В.Ю., Козырева Т.В., Голикова О.Л., Михальцов Е.П., Трохин А.С.
-
Ключові слова:
лазерна спектроскопія, лазерная спектроскопия, laser spectroscopy ; інтегральні мікросхеми, ІМС, интегральные микросхемы, ИМС, integrierte Mikroschaltungen
-
Анотація:
Исследованы возможности спектрофотометрического метода измерения отражательной способности, профилометрического метода измерения рельефа поверхности и метода измерения рассеяния лазерного излучения поверхностью для оценки качества (морфологии строения зерен) пленочных структур Al(0,5% Cu) и Al(0,5% Сu)-TiN
-
Є складовою частиною документа:
|
