|
-
Ключові слова:
мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics ; надвеликі інтегральні схеми, НВІС, сверхбольшие интегральные схемы, СБИС ; інтегральні схеми, ІС, интегральные схемы, ИС, integrated circuits ; інтегральні мікросхеми, ІМС, интегральные микросхемы, ИМС, integrierte Mikroschaltungen
-
Анотація:
Рассмотрим перспективы развития специального технологического оборудования для микроэлектронных технологий. Описывается многофункциональная кластерная технологическая установка для производства СБИС
-
Є складовою частиною документа:
|
