Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Вольпян, О. Д.
    Исследование оптических пленок SIO2, полученных реактивным магнетронным распылением на переменном токе [Текст] / О.Д. Вольпян, Ю.А. Обод, П.П. Яковлев // Оптический журнал : научно-технический журнал. — Санкт-Петербург, 2004. — 71. — С.81-84.

- Анотація:

Приведены результаты оптических постоянных и скорости роста пленок SiO2, изготовленных магнетронным распылением Si-мишени в Ar:O2-среде током ультразвуковой частоты

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Пневмоенергетика, машини та інструменти. Холодильна техніка



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки   Перейти на сайт