| | Громов, Д. Г. Использование эффекта понижения температуры плавления тонких пленок меди в процессе заполнения канавок и контактных окон для технологии многоуровневой металлизации кремниевых ИС [Текст] / Д.Г. Громов, А.Г. Климовицкий, А.И. Мочалов, А.Д. Сулимин // Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. — М., 2004. — №6. — C.3-10. |
| | |
|