Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Громов, Д. Г.
    Использование эффекта понижения температуры плавления тонких пленок меди в процессе заполнения канавок и контактных окон для технологии многоуровневой металлизации кремниевых ИС [Текст] / Д.Г. Громов, А.Г. Климовицкий, А.И. Мочалов, А.Д. Сулимин // Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. — М., 2004. — №6. — C.3-10.


- Ключові слова:

мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics

- Анотація:

Обоснована и экспериментально продемонстрирована возможность заполнения медью узких канакок и контактных окон, используя эффект понижения температуры плавления пленки меди с уменьшением ее толщины. Показано, что температура процесса заполнения канавок существенно ниже температуры плавления объемной меди и зависит от толщины пленок меди

- Зміст:

Технология микроэлектроники

- Є складовою частиною документа:

Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки   Перейти на сайт