|
-
Ключові слова:
технології, технологии,technologies ; мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics
-
Анотація:
Исследовано влияние разориентации подложки сапфира в направлении 2110 или 2110 при нулевой разориентации в направлении 0111 Аl203 на структурные свойства эпитаксиальных слоев Gan u AIN
-
Зміст:
Технология микроэлектроники
-
Є складовою частиною документа:
| 