621.382(07)
М59	Микроэлектроника [Текст]. Физические основы функционирования изделий микроэлектроники/ О.В.Митрофанов, Б.М.Смирнов, Л.А.Коледов : учеб. пособие: в 9-ти кн. / под ред. Л. А.Коледова. — М. : Высш. шк., 1987. — 168 с.