|
-
Ключові слова:
мікроелектронні технології, микроэлектронные технологии ; технології, технологии,technologies ; мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics
-
Анотація:
Исследован процесс выращивания гетероэпитаксиальных слоев нитридов алюминия и галлия методом пиролиза комплексных соединений GaX3NH3 и ALX3NH3 на подложках ( 0001) и (1012) сапфира. Рассмотрено влияние технологических параметров на качество слоев. Структура слоев исследовалась рентгеновским дифрактометрическим и электронографическим методами, морфология- методами оптической и растровой электронной микроскопии.
-
Зміст:
Технология микроэлектроники
-
Є складовою частиною документів:
-
Теми документа
-
УДК // Ізоляційні матеріали. Ізолятори. Монтажні пристрої, опори тощо. Електроізоляційна арматура ліній електропередач
|
