Зведений каталог бібліотек Харкова
Сирота, Н. Н. Пленки алмаза и кубического нитрида бора, наносимые при низких температурах [Текст] / Н.Н. Сирота // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники : научный журнал. — М., 2005. — №2. — С.14-19.
- Ключові слова:
- Анотація:
Возможность нанесения пленок алмаза и кубического нитрида бора на различные поверхности изделий представляет первостепенный научный и практический интерес для микроэлектроники и многих областей современной техники
- Є складовою частиною документів:
- Теми документа