Опис документа

Гришко, А. С.
Получение автоэпитаксиальных слоев кремния на подложках цилиндрической формы методом парофазной эпитаксии химическим осаждением в системе SiH4-H2 [Текст] / А.С. Гришко, Т.Т. Кондратенко, В.В. Митин, С.Н. Чигир // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники : научный журнал. — М., 2005. — №2. — C.32-36.

- Ключові слова:

матеріали електронної техніки, материалы электронной техники

- Анотація:

Рассмотрена возможность получения автоэпитаксиальных слоев кремния на цилиндрических подложках для последующего изготовления на их основе силовых диодов.

- Зміст:

Материаловедение. Полупроводники

- Є складовою частиною документів:

- Теми документа

УДК // Електронні напівпровідники
УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація

Наявність

Установа Кількість Документ на сайті установи

Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського Перейти на сайт

Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки Перейти на сайт