|
-
Ключові слова:
кристалографія, кристаллография, crystallography ; матеріали електронної техніки, материалы электронной техники ; кристалографія мінералів, кристаллография минералов
-
Анотація:
Показана возможность более точного определения составляющих вектора кристаллографической разориентации подложки. Анализ ориентационных соотношений и разориентации в сложных гетероэпитаксиальных системах вкомплексе с оценкой структурного совершенства позволяет реализовать более глубокую диагностику гетероэпитаксиальных слоев
-
Є складовою частиною документа:
| 