|
-
Ключові слова:
матеріали електронної техніки, материалы электронной техники ; ген.... ; інтегральні схеми, ІС, интегральные схемы, ИС, integrated circuits
-
Анотація:
Исследованы особенности генерации дислокаций в термообработанных пластинах кремния от внутренних источников, формирующихся в процессе паспада пересыщенного твердого раствора кислорода, а также при приложении внешних нагрузок. Установлены закономерности эволюции дефектной структуры в пластинах при проведении многоступенчатых термообработок.
-
Є складовою частиною документа:
| 