Зведений каталог бібліотек Харкова
Герасименко, Н. Н. Термооптический контроль состояния поверхности кремния [Текст] / Н.Н. Герасименко, В.Ю. Троицкий, Ю.Н Пархоменко // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники : научный журнал. — М., 2004. — №4. — С.57-60.
- Ключові слова:
- Анотація:
Исследованы возможности применения методики термооптического контроля (1-3), используемой в основном для контроля параметров ионного легирования, для изучения состояния поверхности пластин
- Є складовою частиною документів:
- Теми документа