Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Герасименко, Н. Н.
    Термооптический контроль состояния поверхности кремния [Текст] / Н.Н. Герасименко, В.Ю. Троицкий, Ю.Н Пархоменко // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники : научный журнал. — М., 2004. — №4. — С.57-60.


- Ключові слова:

термограми,термограммы ; тер...

- Анотація:

Исследованы возможности применения методики термооптического контроля (1-3), используемой в основном для контроля параметров ионного легирования, для изучения состояния поверхности пластин

- Є складовою частиною документів:

- Теми документа

  • УДК // Електронні напівпровідники
  • УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки   Перейти на сайт
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт