Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Кислов, Н. М.
    К модели выхода вторичных электронов из металлов и полупроводников при ионной обработке поверхности [Текст] / Н.М. Кислов, Г.Д. Кузнецов, А.А. Сергиенко // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники : научный журнал. — М., 2004. — №4. — С.63-67.


- Ключові слова:

напівпровідники, полупроводники, semiconductors, Halbleiter ; іонізуюче випромінювання, ионизирующее излучение, ionisierende Strahlung

- Анотація:

Рассмотрены модельные представления по выходу вторичных электронов из металлов и полупроводников в зависимости от их физических характеристик и параметров технологического процесса ионно-лучевого травления материалов ионами инертных газов.

- Є складовою частиною документа:

Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки   Перейти на сайт