Зведений каталог бібліотек Харкова
Еремеев, А. В. Новая технология получения кремния для СВЧ-устройств [Текст] / А.В. Еремеев // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники : научный журнал. — М., 2005. — №1. — С.12-17.
- Ключові слова:
- Анотація:
Предложено новое направление технологии создания полупроводников- получение кремния для СВЧ-устройств
- Є складовою частиною документів:
- Теми документа