|
-
Ключові слова:
іонографія, ионография ; тонкоплівкові діоди, тонкоплёночные диоды, thin film diodes ; електроніка, электроника, electronics, Elektronik ; плазма, plasma ; електронні прилади, электронные приборы, electronic devices
-
Анотація:
Методические указания по курсу «Технология тонких пленок» содержит рабочую программу дисциплины, методические указания к практическим занятиям с примерами решения задач; варианты контрольных заданий с методикой расчета технологических режимов получения тонких пленок для студентов заочной формы обучения, список литературы по изучаемому курсу. Настоящие методические указания предназначены для студентов всех форм обучения специальности «Электронные приборы и устройства».
-
Електронні версії документа:
-
Теми документа
|
