Зведений каталог бібліотек Харкова
621.382(07)П16Панфилов, Ю. В. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. Оборудование и производство ИС [Текст] / Ю.В. Панфилов, В.Т. Рябов, Ю.Б. Цветков. — М. : Радио и связь, 1988. — 320 с. ISBN 5-256-00062-4
- Ключові слова:
- Теми документа