Опис документа

Большаков, Н. А.
Исследование процессов механической обработки монокристаллов кремния связанным абразивом [Текст] / Н.А. Большаков, А.А. Раскин, Ю.М. Литвинов // Известия высших учебных заведений, Электроника : научно-технический журнал. — М., 2004. — 1. — С.48-52.

- Ключові слова:

комп'ютерна техніка, компьютерная техника ; статистичні матеріали, статистические материалы ; вимірювальна техніка, измерительная техника, Messtechnik, measurement technique ; техніка, техника, Technik

- Анотація:

Проведен предварительный анализ процессов калибрования, формирования основного и лополнительного срезов и разрезания монокристаллов кремния диаметром 100 и 150 мм инструментом со связанным абразивом. Показаны пути совершенствования этих технологий и намечены направления дальнейших исследований.

- Є складовою частиною документів:

- Теми документа

УДК // Виробництво інтегральних мікросхем та мікроелектронних приладів
УДК // Електронні напівпровідники

Наявність

Установа Кількість Документ на сайті установи

Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського Перейти на сайт

Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки Перейти на сайт