|
Автор: Кирюшина И.В., Красавина Л.З., Просий А.Д., Селиванова И.Н., Яснов В.С.
-
Ключові слова:
мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics
-
Анотація:
Проведено исследование процессов жидкостной химической подготовки пластин в растворах с традиционной рецептурой компонентов и модифицированной рецептурой компонентов в технологическом маршруте изготовления СБИС
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
-
УДК // Хімічні технології
| 