|
-
Ключові слова:
мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics ; інтегральні схеми, ІС, интегральные схемы, ИС, integrated circuits
-
Анотація:
Представлені результаті мзучения возможности формирования упругих єлементов тензопреобразователей на структурах кремний-на-изоляторе в технологии изготовления интегральніх схем при помощи анизотропного травления кремния
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
-
УДК // Технологія механічної обробки в цілому: процеси, інструменти, машини та обладнання
-
УДК // Хімічні технології
|
