оптоелектронні процесори, оптоэлектронные процессоры ; мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics

Для градиентных диэлектрических зеркал, получаемых методом термического испарения материалов в вакууме, приведен критерий качества. Использование этого критерия позволяет определить оптимальное расположение испарителя, вращающейся подложки и находящейся между ними круглой диафрагмы для создания заданного распределения коэффициента отражения по поверхности оптического элемента

Известия высших учебных заведений, Электроника [Текст] : научно-технический журнал. — М., 2004. — 1.

• УДК // Електроніка. Мікроелектроніка