Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Невлюдов, І. Ш.
    Класифікація технологій мікроелектромеханічних систем [Текст] / І.Ш. Невлюдов, В.М. Свищ, В.А. Палагін // Прикладная радиоэлектроника. Состояние и перспективы развития. Пленарные заседания Форума, семинары и круглые столы : материалы 2-го междунар. радиоэлектрон. форума (МРФ'2005) 19-23 сент. 2005г. : сб. науч. тр. / АНПРЭ, ХНУРЭ. — Х. : ХНУРЭ, 2005. — С.111-114.


- Ключові слова:

технологічні процеси, ТП, технологические процессы ; електромеханічні системи, электромеханические системы ; нанотехнології, НТ, нанотехнологии, nanotechnology

- Анотація:

Метою роботи є виявлення особливостей різних технологічних процесів для вибору об'єктів, їх конструктивно-технічних рішень, поєднання можливостей, зусиль і технічних засобів різних розробників і виробників для створення мікроелектромеханічних систем

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • Праці співробітників ХНУРЕ // Невлюдов Ігор Шакирович, Невлюдов Игорь Шакирович, Nevliudov Igor Shakirovych
  • Праці співробітників ХНУРЕ // Палагін Віктор Андрійович, Палагин Виктор Андреевич, Palagun Victor Andriyovych
  • Праці співробітників ХНУРЕ // Свищ Володимир Митрофанович, Свищ Владимир Митрофанович, Svyshch Volodymyr Mytrofanovych



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки   Перейти на сайт