Зведений каталог бібліотек Харкова
Невлюдов, І. Ш. Класифікація технологій мікроелектромеханічних систем [Текст] / І.Ш. Невлюдов, В.М. Свищ, В.А. Палагін // Прикладная радиоэлектроника. Состояние и перспективы развития. Пленарные заседания Форума, семинары и круглые столы : материалы 2-го междунар. радиоэлектрон. форума (МРФ'2005) 19-23 сент. 2005г. : сб. науч. тр. / АНПРЭ, ХНУРЭ. — Х. : ХНУРЭ, 2005. — С.111-114.
- Ключові слова:
- Анотація:
Метою роботи є виявлення особливостей різних технологічних процесів для вибору об'єктів, їх конструктивно-технічних рішень, поєднання можливостей, зусиль і технічних засобів різних розробників і виробників для створення мікроелектромеханічних систем
- Є складовою частиною документа:
Прикладная радиоэлектроника. Состояние и перспективы развития [Текст]. Пленарные заседания Форума, семинары и круглые столы = 2nd International Radio Electronic Forum (IREF'2005) : материалы 2-го междунар. радиоэлектрон. форума (МРФ'2005) 19-23 сент. 2005г. : сб. науч. тр. / АНПРЭ, ХНУРЭ. — Х. : ХНУРЭ, 2005. — 275 с.
- Теми документа