|
Автор: Кирюшина И.В., Красавина Л.З., Просий А.Д., Селиванова И.Н., Яснов В.С.
-
Ключові слова:
мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics
-
Анотація:
Проведено исследование скорости травления, уровня пивносимой дефектности процесса и накопления ионных примесей в водных травителях на основе разбавленных растворов HF в режиме рециркуляционной фильтрации. Полученные данные позволили установить срок службы растворов на основе HF при обработке пластин диаметром 150 мм
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
-
УДК // Комп’ютерна наука і технологія. Застосування комп’ютера. Оброблення даних
| 