мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics ; інформаційна мікроекономіка, информационная микроэкономика

Экспериментально исследована неоднородность свойств слоев (пиролизного диоксида кремния, нитрида кремния, поликристаллического кремния). Предложены конструкции реакторов, обеспечивающие изотермические и изобарические условия осаждения слоев

• Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2004.
• Известия высших учебных заведений, Электроника [Текст] : научно-технический журнал. — М., 2004. — 2.

• УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
• УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
• УДК // Хімічні технології